Mikrosystemtechnik
Ursprung und Antriebsfeder der Mikrosystemtechnik stecken quasi im Begriff selbst:
3D-MID-Substrat mit eingebautem Sensorelement
Entwickelt hat sich die Mikrosystemtechnik aus der Mikroelektronik heraus. Mitte der 80er Jahre wurde damit begonnen, immer mehr elektronische Funktionen auf einem Baustein zu vereinen. Das Besondere der Mikrosystemtechnik im Vergleich zur Mikroelektronik zeigt sich schon in ihrem Namen, denn ihr zentrales Merkmal ist der systemische Charakter.
Härte- und E-Modulprüfung - Nanoidentationsverfahren in Kombination mit Rasterkraftmikroskopie
Allen Mikrosystemen ist gemeinsam, dass verschiedene Funktionen, Materialien, Komponenten und Technologien – meistens in Verbindung mit Komponenten der Mikroelektronik – in einem integrierten System miteinander verknüpft werden. Die Mikrosystemtechnik vereint dabei so unterschiedliche Basistechnologien wie die Mechanik, die Optik, aber auch neue Technologiefelder, wie beispielsweise neue Materialien.
Aufgrund ihres kleinen Formats – einzelne Komponenten messen nicht selten nur wenige Mikrometer – sind Mikrosysteme besonders raum- und gewichtsparend.
So sind auch dreidimensionale Verdrahtungs- und Bauteilträger (3D-MIDs) bereits in verschiedene Nischen der Mikrosystemtechnik vorgedrungen. Sie dienen nicht nur als räumliche Chipträger und integrieren auf gleichem Bauraum mehr Funktionen, sie können gleichzeitig einen direkten Bestandteil eines Gehäuses oder eines Steckverbinders bilden.